Оборудование ЦКП

Нанесение тонких пленок

Постростовая обработка структур

Система очистки образцов с помощью кислородной плазмы

Стенд ионно-плазменного комплекса для обработки структур

Стенды ионно-пучкового травления

Установка для быстрой температурной обработки микроструктур AcuThermo AW 410 System

Установка прецизионной микрообработки полупроводниковых материалов SharpMark YV04 UF 10

Литография

Аппаратно-программный комплекс электронной литографии ELPHY PLUS

Лазерный генератор микро-изображений mPG101

Установка совмещения и экспонирования контактной фотолитографии SUSS MJB4

Диагностика структуры и состава

Вторично-ионный масс-спектрометр TOF.SIMS 5-100

Дифрактометр рентгеновский Bruker D8 Discover

Дифрактометр рентгеновский PANalitical X'Pert PRO MRD

Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр INCA

Исследование морфологии поверхности

Атомно-силовой микроскоп Протон-МИЭТ CMM2000

Оптический интерференционный микроскоп Talysurf CCI 2000

Профилометр Протон-МИЭТ модель 130

Сканирующий зондовый микроскоп Solver NEXT

Сканирующий зондовый микроскоп Solver PRO-HV

Сканирующий оптический микроскоп ближнего поля Ntegra Prima

Электронная микроскопия

Автоэмиссионный просвечивающий электронный микроскоп LIBRA® 200MC

Двухлучевая система с высоким разрешением для исследования и подготовки образцов Neon-40 (Carl Zeiss)

Комплект оборудования подготовки образцов Fischione для исследования методами просвечивающей электронной микроскопии

Сканирующий электронный микроскоп EVO 10

Сканирующий электронный микроскоп Supra 50VP (Carl Zeiss)

Оптика и спектроскопия

Вакуумный ИК-Фурье спектрометр Bruker Vertex 80V

Инфракрасный фурье-спектрометр высокого разрешения Bruker IFS 125HR

Спектрофотометр Thermo Scientific Genesys 50

Стенд рентгеновской спектроскопии для диапазона 0,8-200 нм

Стенд спектральных измерений на основе лазерно-плазменного источника 4-50 нм

УСУ «Фемтоспектр»

Наносекундная перестраиваемая лазерная система видимого и ближнего ИК диапазонов (Nd:YAG + ПГС)

Наносекундная перестраиваемая лазерная система среднего ИК диапазона (Nd:YAG + ПГС)

Пикосекундная Nd:YAG лазерная система с генератором гармоник и устройством выборки импульсов

Система регистрации люминесценции в ближнем ИК диапазоне с субнаносекундным временным разрешением с применением методики коррелированного счета фотонов

Система регистрации люминесценции в видимом и ближнем ИК диапазонах с пикосекундным временным разрешением с использованием стрик-камеры

Система регистрации фотолюминесценции в видимом и ближнем ИК диапазонах с суб-пикосекундным временным разрешением по методике ап-конверсии

Фемтосекундная Ti:Sa лазерная система с генератором гармоник и устройством выборки импульсов

Измерения электрических и магнитных свойств

Комплекс стендов для измерения стационарных, импульсных и высокочастотных электрофизических характеристик полупроводниковых структур и приборов

Сканирующий зондовый микроскоп для магнитных и пьезоэлектрических измерений Smena-PFM-OM

Стенд для измерения магнитооптических эффектов Керра и Фарадея в тонких магнитных плёнках

Стенд для измерения электрофизических характеристик полупроводниковых структур на базе зондовой станции Semi Share SC-6

Стенд для холловских измерений транспортных свойств полупроводниковых структур

Стенд измерения фотоэлектрических и электрофизических характеристик тонкопленочных структур в контролируемой инертной атмосфере перчаточного ящика Torun-2GBS-OP