Сканирующий электронный микроскоп Supra 50VP (Carl Zeiss)

Сканирующий электронный микроскоп Supra 50VP (Carl Zeiss)
Сканирующий электронный микроскоп Supra 50VP (Carl Zeiss)

Контактное лицо

Скороходов Евгений Владимирович, с. н. с., к. ф.-м. н.

Evgeny@ipmras.ru

+7 (831) 417-94-88

Описание установки

Электронный микроскоп SUPRA 50VP позволяет выполнять многоплановые исследования наноструктур с применением методов сканирующей электронной микроскопии. Микроскоп оснащен комплектом аналитических модулей (детекторов и программное обеспечение), с помощью которых можно получать разнообразную качественную и количественную информацию об исследуемых объектах:

- получение изображений объектов без предварительной подготовки (в том числе и непроводящих — возможность использования режимов низкого вакуума (VP) и их комбинаций с работой на низких ускоряющих) во вторичных и отраженных электронах с пространственным разрешением до 1,5 нм;

- морфометрический анализ субмикронных и нанометровых неоднородностей и частиц;

Технические характеристики

Пространственное разрешение 1.5 нм при 15 кВ;
2.1 нм при 1 кВ;
5.0 нм при 0.2 кВ.
Диапазон увеличений 12х — 900 000х в режиме вторичных электронов
Источник электронов Автоэмиссионный (термоэмиссионного типа).
Стабильность лучше, чем 0.2% в час.
Диапазон ускоряющих напряжений 100 В - 30 000 В
Диапазон рабочих токов 4 пА -20 нА
Диапазон низкого вакуума 1- 133 Па
Встроенные детекторы In-lens SE;
Детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли;
ИК-камера для обзора рабочей камеры.
Рабочая камера Диаметр 330 мм, высота 270 мм
Столик: X/Y = 130 мм, Z = 50 мм, наклон -3° ÷ +70°, вращение 360°
Опционально:
Подключение микроанализа: EDS, CL;
Подключение литографии
Вакуумная система Полностью безмасляная
Дополнительные системы Встроенная антивибрационная подвеска
Графика С разрешением не хуже 3072×2304 пикселей

 

Возврат к списку