Сканирующий электронный микроскоп Supra 50VP (Carl Zeiss)
Контактное лицо
Описание установки
Электронный микроскоп SUPRA 50VP позволяет выполнять многоплановые исследования наноструктур с применением методов сканирующей электронной микроскопии. Микроскоп оснащен комплектом аналитических модулей (детекторов и программное обеспечение), с помощью которых можно получать разнообразную качественную и количественную информацию об исследуемых объектах:- получение изображений объектов без предварительной подготовки (в том числе и непроводящих — возможность использования режимов низкого вакуума (VP) и их комбинаций с работой на низких ускоряющих) во вторичных и отраженных электронах с пространственным разрешением до 1,5 нм;
- морфометрический анализ субмикронных и нанометровых неоднородностей и частиц;
Результаты
- Исследование морфологии поверхности и профиля структуры InN/GaN/AlN/Al2O3 со слоем InN, выращенным при 470 °C и соотношении потоков III/V ~ 0.8.
- Определение латеральных размеров ферромагнитных наночастиц, изготовленных методом сканирующей электронной литографии
- Исследование морфологии пленки YBaCuO, полученной методом магнетронного напыления
Технические характеристики
| Пространственное разрешение |
1.5 нм при 15 кВ; 2.1 нм при 1 кВ; 5.0 нм при 0.2 кВ. |
| Диапазон увеличений | 12х — 900 000х в режиме вторичных электронов |
| Источник электронов |
Автоэмиссионный (термоэмиссионного типа). Стабильность лучше, чем 0.2% в час. |
| Диапазон ускоряющих напряжений | 100 В - 30 000 В |
| Диапазон рабочих токов | 4 пА -20 нА |
| Диапазон низкого вакуума | 1- 133 Па |
| Встроенные детекторы |
In-lens SE; Детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли; ИК-камера для обзора рабочей камеры. |
| Рабочая камера |
Диаметр 330 мм, высота 270 мм Столик: X/Y = 130 мм, Z = 50 мм, наклон -3° ÷ +70°, вращение 360° Опционально: Подключение микроанализа: EDS, CL; Подключение литографии |
| Вакуумная система | Полностью безмасляная |
| Дополнительные системы | Встроенная антивибрационная подвеска |
| Графика | С разрешением не хуже 3072×2304 пикселей |
