Исследование морфологии пленки YBaCuO, полученной методом магнетронного напыления
Рис. 1. СЭМ изображения во вторичных электронах поверхности YBCO-пленок, полученных при последовательном увеличении температуры роста: а - образец, выращенный при температуре 720◦ C; b - образец, выращенный при температуре 740◦ C; с - образец, выращенный при температуре 750◦ C; d - образец, выращенный при температуре 760◦ C; e - образец, выращенный при температуре 780◦ C; f - образец, выращенный при температуре 800◦ C. Стрелкой отмечена широкая межгранульная граница.
Исследована зависимость электрофизических и структурных свойств пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-delta, получаемых методом магнетронного напыления на фианите, от температуры роста. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа показано, что на фианитовых подложках без дополнительного буферного слоя происходит послойно-островковый рост пленки YBa2Cu3O7-delta. Повышение температуры осаждения приводит к разделению растущей пленки на области с сильно различающейся микроструктурой. Области первого типа представляют собой высококачественный слой YBa2Cu3O7-delta, области второго типа --- слой YBa2Cu3O7-delta с резко выраженными межгранульными границами, препятствующими протеканию тока.
Исследована зависимость электрофизических и структурных свойств пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-delta, получаемых методом магнетронного напыления на фианите, от температуры роста. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа показано, что на фианитовых подложках без дополнительного буферного слоя происходит послойно-островковый рост пленки YBa2Cu3O7-delta. Повышение температуры осаждения приводит к разделению растущей пленки на области с сильно различающейся микроструктурой. Области первого типа представляют собой высококачественный слой YBa2Cu3O7-delta, области второго типа --- слой YBa2Cu3O7-delta с резко выраженными межгранульными границами, препятствующими протеканию тока.