Сканирующий электронный микроскоп EVO 10
Контактное лицо
Описание установки
Сканирующий электронный микроскоп EVO 10 представляет собой аналитический прибор среднего класса, предназначенный для получения высококачественных изображений поверхности объектов исследования с высоким разрешением. Микроскоп оснащен комплектом аналитических модулей (детекторов и программное обеспечение), с помощью которых можно получать разнообразную качественную и количественную информацию об исследуемых объектах:- получение изображений объектов без предварительной подготовки (в том числе и непроводящих — возможность использования режимов низкого вакуума (VP) и их комбинаций с работой на низких ускоряющих) во вторичных и отраженных электронах с пространственным разрешением до 3 нм;
- морфометрический анализ субмикронных и нанометровых неоднородностей и частиц;
Результаты
Технические характеристики
| Пространственное разрешение |
3 нм при 30 кВ; 20 нм при 1 кВ; |
| Диапазон увеличений | 7х — 1000 000х в режиме вторичных электронов |
| Источник электронов | Термоэмиссионный катод (W, LaB6) |
| Диапазон ускоряющих напряжений | 100 В - 30 000 В |
| Диапазон рабочих токов | 4 пА -20 нА |
| Диапазон низкого вакуума | 10-3000 Па |
| Встроенные детекторы |
Детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли; ИК-камера для обзора рабочей камеры. |
| Рабочая камера |
Диаметр 330 мм, высота 270 мм Столик: X/Y = 130 мм, Z = 50 мм, наклон -3° ÷ +70°, вращение 360° Опционально: Подключение микроанализа: EDS, CL; Подключение литографии |
| Вакуумная система | Полностью безмасляная |
| Дополнительные системы | Встроенная антивибрационная подвеска |
| Графика | С разрешением не хуже 3072×2304 пикселей |
