Сканирующий электронный микроскоп EVO 10

Сканирующий электронный микроскоп EVO 10
Сканирующий электронный микроскоп EVO 10

Контактное лицо

Скороходов Евгений Владимирович, с. н. с., к. ф.-м. н.

Evgeny@ipmras.ru

+7 (831) 417-94-88

Описание установки

Сканирующий электронный микроскоп EVO 10 представляет собой аналитический прибор среднего класса, предназначенный для получения высококачественных изображений поверхности объектов исследования с высоким разрешением. Микроскоп оснащен комплектом аналитических модулей (детекторов и программное обеспечение), с помощью которых можно получать разнообразную качественную и количественную информацию об исследуемых объектах:
  • получение изображений объектов без предварительной подготовки (в том числе и непроводящих — возможность использования режимов низкого вакуума (VP) и их комбинаций с работой на низких ускоряющих) во вторичных и отраженных электронах с пространственным разрешением до 3 нм;
  • морфометрический анализ субмикронных и нанометровых неоднородностей и частиц;

Технические характеристики

Пространственное разрешение 3 нм при 30 кВ;
20 нм при 1 кВ;
Диапазон увеличений 7х — 1000 000х в режиме вторичных электронов
Источник электронов Термоэмиссионный катод (W, LaB6)
Диапазон ускоряющих напряжений 100 В - 30 000 В
Диапазон рабочих токов 4 пА -20 нА
Диапазон низкого вакуума 10-3000 Па
Встроенные детекторы Детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли;
ИК-камера для обзора рабочей камеры.
Рабочая камера Диаметр 330 мм, высота 270 мм
Столик: X/Y = 130 мм, Z = 50 мм, наклон -3° ÷ +70°, вращение 360°
Опционально:
Подключение микроанализа: EDS, CL;
Подключение литографии
Вакуумная система Полностью безмасляная
Дополнительные системы Встроенная антивибрационная подвеска
Графика С разрешением не хуже 3072×2304 пикселей

Возврат к списку