Атомно-силовой микроскоп Протон-МИЭТ CMM2000
Контактное лицо
Описание установки
Высокоточный сканирующий зондовый микроскоп, предназначенный для измерений геометрических и физических характеристик поверхности образцов с нанометровым пространственным разрешением.Результаты
Технические характеристики
· Диапазон измерений по осям X и Y (параллельно плоскости поверхности образца): не хуже 0.0003 – 20 мкм.
· Диапазон измерений по оси Z (перпендикулярно плоскости поверхности образца): не хуже 0.0002 – 2 мкм.
· Предел допускаемой погрешности измерений линейных размеров по осям X, Y и Z: 10 нм + 0.1 × {измеряемый размер}.
· Предельные габариты исследуемого образца (длина × ширина × толщина): 30 × 30 × 15 мм.
· Предельная масса исследуемого образца: 200 г.
· Диапазон измерений по оси Z (перпендикулярно плоскости поверхности образца): не хуже 0.0002 – 2 мкм.
· Предел допускаемой погрешности измерений линейных размеров по осям X, Y и Z: 10 нм + 0.1 × {измеряемый размер}.
· Предельные габариты исследуемого образца (длина × ширина × толщина): 30 × 30 × 15 мм.
· Предельная масса исследуемого образца: 200 г.