Стенды ионно-пучкового травления
Контактное лицо
Описание установки
Стенды ионно-пучковой обработки представляют собой многофункциональные комплексы для высокоточной финишной обработки оптических поверхностей дифракционного качества, сочетающие в себе ионные источники различных размеров и конфигураций. Ключевая особенность – возможность сочетания трёх различных функций в одной системе: крупномасштабной ионной полировки, проведение ионной асферизации и коррекции локальных ошибок формы оптической поверхности.
Результаты
Технические характеристики
| Характеристики стенда | ||
| Реализуемое движение | Диапазон изменений | Точность |
| Наклон образца, (θ) | ±35° | 0.01° |
| Вращение вокруг оси образца, (ω) | 0°-360° | 0.01° |
| Линейное перемещение вдоль оси образца, (X) | 0-50 мм | 0.02 мм |
| Линейное перемещение поперек оси образца, (ρ) | 0-160 мм | 0.02 мм |
| Поворот вокруг вертикальной оси, (ψ) | 0°-120° | 0.01° |
| Характеристики ионных источников | |||
| Характеристика | КЛАН-163М | КЛАН-53М | КЛАН-12М |
| Тип источника | Сеточный, радиочастотный f=2.0 МГц | Сеточный, с холодным полым катодом | Сеточный, с холодным полым катодом |
| Ионно-оптическая система | двухсеточная плоская | двухсеточная, вогнутая | двухсеточная, вогнутая |
| Рабочий газ | инертные, O2, N2, C2H8 и др. | инертные, N2 | инертные, N2 |
| Рабочее давление, Па | 3∙10-2 | 3∙10-2 | 3∙10-3 |
| Энергия ионов, эВ | 200-1500 | 300-1500 | 300-1500 |