Коррекция локальных ошибок формы обеспечивает точность формы 0.7 нм по параметру СКО для (рентгено)оптических элементов произвольной формы
Стенд ионно-пучкового травления позволяет изготавливать высокоточные оптические поверхности сложной формы. Например, с помощью данного стенда была изготовлена коллимирующая КБ-система, состоящая из двух параболических цилиндров. Ионно-пучковыми методами был сформирован цилиндрический профиль поверхности, с максимальной глубиной удаления материала 1,1 мкм. Отклонение полученных поверхностей от расчётных составило 0.7 нм по СКО для обоих образцов.
Оборудование
Контактное лицо
Публикации
- Pestov, A.E. Technique for forming substrates for grazing incidence X-ray mirrors with cylindrical surface profiles / A.E. Pestov, A.K. Chernyshev, M.S. Mikhailenko et al // Applied Optics. – 2025. – V. 64. – No. 4. – p. 837-844.