Ионная полировка обеспечивает снижение эффективной шероховатости до σeff = 0.15 нм в диапазоне пространственных частот q = [2.5‧10⁻² – 6.3‧10¹ мкм⁻¹]

Для стенда ионно-пучкового травления разработана технология ионно-пучковой полировки, позволяющая улучшать микрошероховатость (рентгено)оптических поверхностей. Благодаря данной методике была улучшена шероховатость сферической подложки коллектора рентгеновского излучения из монокритсаллического кремния. Микрошероховатость подложки была улучшена с 0.33 до 0.15 нм в диапазоне простарнственных частот  q = [2.5‧10⁻² – 6.3‧10¹ мкм⁻¹].