Система очистки образцов с помощью кислородной плазмы

Evactron 25 —компактный настольный дезагрегатор плазмы, предназначенный для мягкого и эффективного удаления органических загрязнений с поверхностей образцов и внутренних частей вакуумных камер с помощью низкотемпературной кислородной плазмы. Используется для следующих операций:

1. Подготовка образцов для сканирующей электронной микроскопии:
Удаление углеродных загрязнений: На поверхности большинства образцов со временем образуется тонкая пленка углеводородов из масел, пластификаторов, следов пальцев и т.д. Эта пленка мешает получению качественного изображения в СЭМ, вызывая "зарядку" (накопление статического заряда на непроводящих образцах) и снижая контраст.
Повышение проводимости: После очистки поверхность становится более чистой и однородной, что улучшает проводимость и уменьшает эффект зарядки, особенно после напыления проводящего слоя (золота, углерода и др.).

2. Очистка вакуумных камер:
Плазменная очистка используется для удаления углеводородных загрязнений с внутренних поверхностей вакуумных камер (например, самой камеры СЭМ, держателей образцов, детекторов). Это помогает восстановить высокий вакуум и улучшить стабильность работы микроскопа.