Вторично-ионный масс-спектрометр TOF.SIMS 5-100

Назначение
Метод вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС) предназначен для анализа атомного состава твердотельных структур. ВИМС метод основан на распылении поверхности твердого тела пучком первичных ионов и анализе эмитируемых с поверхности вторичных ионов, содержащих информацию о составе исследуемой поверхности. 

Возможности 
    Метод ВИМС позволяет получать следующую информацию о составе структур:
·       регистрировать все элементы Периодической системы + молекулярные ионы;
·       проводить качественный анализ, т.е. надежно идентифицировать все присутствующие элементы с уровнем чувствительности от N_α>10¹⁵ – 10¹⁶ат/см³;
·       проводить количественный анализ атомного состава структур (для этого необходимы соответствующие эталонные структуры или набор таких структур);
·       проводить анализ распределения элементов по глубине - послойный анализ (с разрешением по глубине 1 - 5нм);
·       проводить анализ распределения элементов по поверхности структуры.
Метод ВИМС позволяет анализировать состав широкого класса структур:
·       Полупроводники
·       Металлы
·       Диэлектрики
·       Композиты
·       Органические материалы 

Уникальность
Метод вторично-ионной масс-спектрометрии имеет предельно малую информационную глубину - глубина выхода вторичных ионов < 0.5 нм и высокую чувствительность 10¹⁴ ÷ 10¹⁶ ат*см^-3. Это отличает этот метод от других методов анализа состава твердых тел. Метод времяпролетной масс-спектрометрии вторичных ионов реализованный на установке TOF.SIMS-5 отличает очень низкая величина тока зондирующего пучка ионов висмута - 1 пА. Такой пучок ионов практически не разрушает зондируемую поверхность, что позволяет проводить анализ молекулярного состава поверхности.