Двухлучевая система с высоким разрешением для исследования и подготовки образцов Neon-40 (Carl Zeiss)

Система Neon 40 представляет собой комбинацию автоэмиссионной электронно-оптической колонны GEMINI и автоэмиссионной ионной колонны, сфокусированных в единую точку фокуса. В серии реализованы самые последние достижения в области электронной и ионной оптики для применения во всех областях исследований, связанных с нанотехнологиями.

Электронно-оптическая колонна GEMINI использует уникальную комбинацию детекторов для получения изображений рельефа поверхности с одновременным отображением композиционного контраста в нанометровом масштабе.

Ионная колонна позволяет получать изображения структуры материала с учетом его химического состава. Комбинация двух высокоразрешающих колонн в едином приборе дает пользователям не имеющий прямых аналогов инструмент для наноманипулирования на высоких и сверхвысоких увеличениях. Все процессы, производимые ионным лучом или микро/наноманипулятором, наблюдаются в режиме онлайн.

В системе Neon 40 используются три интегрированные системы детектирования сигнала:

• встроенный в линзовую систему для электронов детектор вторичных электронов (In-lens SE) для изучения топографии поверхности на предельных разрешениях;
• два детектора отраженных электронов: встроенный в электронно-оптическую систему EsBD детектор и установленный в камере полупроводниковый детектор обратно рассеянных электронов, дающие картины поверхности с отображением химического контраста с высоким пространственным разрешением;
• встроенный детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли.

Также используются три режима работы:

• сверхразрешающий автоэмиссионный РЭМ;
• ионный микроскоп;
• комбинированный режим: манипулирование ионным лучом — локальное травление и осаждение материалов (W, Pt, SiO2) с наблюдением в электронном пучке.

Помимо уникальных по разрешению и выдающихся по качеству изображений (топологии поверхности, композиционного контраста поверхности, карты ориентации магнитных доменов и т. п.), пользователи получают возможность заглянуть внутрь образца без нарушения его естественной структуры. Какой бы ни была поставленная задача — работа с металлами, инспекция полупроводниковых приборов, прецизионное препарирование биологических образцов, анализ слоистых структур, исследования керамик и полимеров, электронная или ионная литография, модификация ультрамалых структур (образцов), ионное травление/осаждение и даже 3D анализ — Neon 40 уже рассчитан на ее решение.