Подготовка образцов для исследования методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии с помощью остро фокусированных ионных пучков на установке NEON 40
С помощью остро фокусированных пучков ионов галлия проводится поперечное сечение образца в заданном месте. Это сечение может быть использовано для исследования структурных характеристик образца, например, элемента какого-либо приборного чипа в сканирующем электронном микроскопе. Также из практически любого образца можно сформировать ламель толщиной до 10 нм, с помощью микроманипулятора поместить её на специальную сеточку, чтобы затем исследовать структурные характеристики образца в просвечивающем электронном микроскопе.
Оборудование
Контактное лицо
Стоимость
12000 руб./час без НДСПубликации
Рост и особенности формирования микроструктуры пленок YBCO, получаемых методом магнетронного напыления на подложках из фианита/
С.В. Гапонов, С.А. Гусев, Ю.Н. Дроздов, Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, Е.В. Скороходов, П.А. Юнин, Журнал технической физики, 2014, том 84, вып. 10, сс 68-72.
С.В. Гапонов, С.А. Гусев, Ю.Н. Дроздов, Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, Е.В. Скороходов, П.А. Юнин, Журнал технической физики, 2014, том 84, вып. 10, сс 68-72.
Управление магнитными свойствами многослойных периодических структур на основе Co/Pt. Д.А. Татарский, Н.С. Гусев, В.Ю. Михайловский, Ю.В. Петров, С.А. Гусев. Журнал технической физики. 2019. Т.89., в.11, С.1674.
Studying of the Interlayer Interaction in Magnetic Multilayers (FM/I/FM) Measuring the FMR Peak Asymmetry// S. Vdovichev, N. Gusev, S. Gusev, L. Budarin, D. Tatarskiy, O. Ermolaeva, V. Rogov, O. Udalov, I. Beloborodov, E. Demidov, A. Fraerman, IEEE Transactions on Magnetics, 2019, V.55, P.6100906.
Gavrilenko V.I., Rumyantsev V.V., Razova A.A., Bovkun L.S., Tatarskiy D.A., Mikhailovskii V.Ya., Zholudev M.S., Ikonnikov A.V., Uaman Svetikova T.A., Maremyyanin K.V., Utochkin V.V., Fadeev M.A., Remesnik V.G., Aleshkin V.Ya., Mikhailov N.N., Dvoretskii S.A., Potemski M., Orlita M., Morozov S.V. Optical Studies and Transmission Electron Microscopy of HgCdTe Quantum Well Heterostructures for Very Long Wavelength Lasers // Nanomaterials. V. 11. 2021. P. 1855.
Tatarskiy D.A., Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Kumar N., Nikolaev K.V., Polkovnikov V.N., Rogachev A., Svechnikov M.V., Yakunin S.N. Investigation of physical properties of Si crystallites in W/Si multilayers // Journal of Applied Crystallography. V. 55. 2022.
High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography. N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, M.V. Svechnikov , D. A. Tatarsky. Optics Letters, Vol. 42 No. 24 pp. 5070-5073 (2017)
Studying of the Interlayer Interaction in Magnetic Multilayers (FM/I/FM) Measuring the FMR Peak Asymmetry// S. Vdovichev, N. Gusev, S. Gusev, L. Budarin, D. Tatarskiy, O. Ermolaeva, V. Rogov, O. Udalov, I. Beloborodov, E. Demidov, A. Fraerman, IEEE Transactions on Magnetics, 2019, V.55, P.6100906.
Gavrilenko V.I., Rumyantsev V.V., Razova A.A., Bovkun L.S., Tatarskiy D.A., Mikhailovskii V.Ya., Zholudev M.S., Ikonnikov A.V., Uaman Svetikova T.A., Maremyyanin K.V., Utochkin V.V., Fadeev M.A., Remesnik V.G., Aleshkin V.Ya., Mikhailov N.N., Dvoretskii S.A., Potemski M., Orlita M., Morozov S.V. Optical Studies and Transmission Electron Microscopy of HgCdTe Quantum Well Heterostructures for Very Long Wavelength Lasers // Nanomaterials. V. 11. 2021. P. 1855.
Tatarskiy D.A., Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Kumar N., Nikolaev K.V., Polkovnikov V.N., Rogachev A., Svechnikov M.V., Yakunin S.N. Investigation of physical properties of Si crystallites in W/Si multilayers // Journal of Applied Crystallography. V. 55. 2022.
High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography. N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, M.V. Svechnikov , D. A. Tatarsky. Optics Letters, Vol. 42 No. 24 pp. 5070-5073 (2017)
Заказчики
Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, РоссияНижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Россия
ОАО "НПП”Салют"
Department of Nanooptics and Technology, Helmholtz-Zentrum Berlin, Albert-Einstein-Straße 15, D-12489 Berlin, German