Стенд измерения фотоэлектрических и электрофизических характеристик тонкопленочных структур в контролируемой инертной атмосфере перчаточного ящика Torun-2GBS-OP
Контактное лицо
Описание установки
Установка предназначена для проведения в инертной атмосфере электрических и оптических измерений, термического отжига, а также хранения образцов. Построена на основе заполненного аргоном перчаточного бокса Torun-2GBS-OP с замкнутым контуром циркуляции газа через фильтры тонкой очистки HEPA и поглотители кислорода и влаги. Измеритель ВАХ работает на спарке пикоамперметра и прецизионного источника тока Keithley/Tectronix под управлением ПК. Широкий набор источников света для фотоэлектрических измерений.Результаты
Технические характеристики
Атмосфера• Инертный газ — аргон
• Концентрация кислорода не более 0.1 ppm
• Концентрация паров воды не более 0.1 ppm
Источники света
• Ксеноновая лампа со светофильтром AM1.5G (симулированное солнечное излучение). Удельная мощность излучения до 120 мВт/см2
• Светодиоды ближнего УФ и видимого диапазона
• Опционально любые лампы накаливания до 100 Вт
Измерение ВАХ
• Пикоапмерметр Keithley 6485 / Источник тока Tectronix PWS4323
• Параметрический анализатор Keithley 4200SCS
• Диапазон измеряемых токов 2 нА – 20 мА
• Точность измерения тока от 8.4пА
• Диапазон напряжений +32…-32 В с шагом от 0.1 мВ
• Двух- и трехзондовый варианты измерения
• Размер образца до 3×3×0.5 см (контактные площадки от 1.5 мм)