Оптический интерференционный микроскоп Talysurf CCI 2000

Прибор выполняет оптическое измерение с восстановлением 3-х мерного изображения поверхности с помощью интерферометрии белого света. Принцип работы интерферометра основывается на разделении луча от одного источника на два, один из которых отражается от исследуемого объекта, а второй (опорный) проходит известный и постоянный оптический путь. Возникающая при этом разность фаз между исследующим и опорным лучом приводит к интерференции. Исследование объекта состоит в наблюдении за изменением интерференционной картины в ходе эксперимента. Сдвиг линзы по вертикали (делается шагами с помощью пьезодвигателя), меняет длину пути исследующего луча, в то время как опорный луч будет проходить все тот же постоянный путь. Это приведет к возникновению серий движущихся интерференционных полос. Достижение максимального контраста интерференционной картины (максимальной яркости, регистрируемой пикселями CCD матрицы) означает точную фокусировку лучей на поверхности образца и совпадение величин плеч интерферометра, что позволяет определять высоту и создавать трёхмерную карту поверхности образца. При этом необходимо определять все положения объектива, при которых яркость каждой точки CCD матрицы максимальна. Таким образом, каждый пиксель CCD матрицы является независимым интерферометром, что позволяет создавать достаточно точные карты поверхности исследуемого образца. Прибор позволяет быстро и бесконтактно исследовать морфологию в кадре размером около 1×1 мм с высоким «интерференционным» разрешением по вертикали (0,2 нм) и оптическим латеральным разрешением (около 1 мкм).