Анализ поверхности с помощью интерферометра белого света Talysurf CCI 2000

Быстрый, неразрушающий и бесконтактный анализ морфологии поверхности на масштабах до 0,9×0,9 мм с латеральным разрешением порядка 0,5 мкм и высоким вертикальным разрешением до 0,2 нм. Позволяет измерять перепады высот в кадре до 100 мкм. Для корректных измерений требуется наличие зеркальной поверхности образца и оптическая однородность (отсутствие прозрачных слоёв или фрагментов) по площади образца. При наличии прозрачных покрытий для корректного измерения высоты ступенек требуется покрытие всей поверхности непрозрачным