Автоэмиссионный просвечивающий электронный микроскоп LIBRA® 200MC

Автоэмиссионный просвечивающий электронный микроскоп LIBRA® 200MC
Автоэмиссионный просвечивающий электронный микроскоп LIBRA® 200MC

Контактное лицо

Гусев Сергей Александрович, к.ф.-м.н., в.н.с.

gusev@ipmras.ru

(831) 417-94-89 +122

Описание установки

В просвечивающем электронном микроскопе (ПЭМ) процессы упругого и неупругого рассеяния являются наиболее важными взаимодействиями между первичными электронами и образцом. В частности, неупруго рассеянные электроны содержат большой объём информации о структуре образца, распределении массы и толщине, а также о распределении элементов и молекул. Такая информация не может быть использована в обычных ПЭМ, где неупруго рассеянные электроны даже снижают контрастность и резкость изображения. Однако интеграция энергетического спектрометра в траекторию луча Libra 200MC позволяет полностью использовать информацию, содержащуюся в неупруго рассеянных электронах, и значительно повышает качество изображения и дифракции. Просвечивающий электронный микроскоп с энергетическим фильтром (EFTEM) предлагает гораздо больше режимов работы, чем традиционные ПЭМ, например: 

– Визуализация в режиме упругого светлого поля
– Электронная спектроскопия (ESI)
 – Электронная спектроскопическая дифракция (ESD)
– Спектроскопия потерь энергии электронами (EELS)
 –Визуализация элементного или структурного контраста
– Визуализация потерь плазмонов – Изображение EELS и т. д. 

LIBRA® 200 FE OMEGA – это просвечивающий электронный микроскоп с энергетическим фильтром (EFTEM) на 200 кВ. Он разработан для обеспечения высокого разрешения в приложениях TEM/STEM и EFTEM/EELS, в сочетании с оптимальными аналитическими возможностями и включает в себя высокоэффективную систему полевой эмиссии. Уникальное сочетание запатентованной системы освещения Köhler от Carl Zeiss NTS с производительностью полевой эмиссионной пушки обеспечивает всегда параллельное и однородное освещение. Поскольку яркость освещения (размер пятна) и освещенное поле зрения можно регулировать независимо, доступна автоматическая система освещения (AIS), гарантирующая облучение только видимой области образца, что обеспечивает его оптимальную защиту. Встроенный энергетический фильтр типа OMEGA для коррекции аберраций 2-го порядка и получения изохроматического изображения 3-го порядка полностью интегрирован в электронную оптику с цифровым управлением. Полностью новая конструкция 300-миллиметровой колонки и недавно разработанное электронное управление со стабильностью менее ppm обеспечивают высочайшую производительность прибора.

Технические характеристики

Диапазон ускоряющих напряжений 120-200 кВ
Пространственное разрешение Точка-точка: 0.24 нм;
Информационный предел: <0.14 нм.
Спектрометр Встроенный в колонну, фабрично сьюстированный и настроенный ОМЕГА-типа.
Дисперсия: 1.85 мкм/эВ @ 200 кВ;
Энергетическое разрешение: <0.2 эВ (c монохроматором);
Искажение: <1.5%;
Угол объектива камеры: 100 мрад @ Δ=±5 эВ;
Угол сбора: >100 мрад @ ΔЕ=±10 эВ.
Детектор 4000×4000 CCD камера (Gatan)
Рабочий столик Полностью эвцентрический гониометр с 5 степенями свободы.
Диапазон наклона α/β: ±30° / ±30°
Увеличение Просвечивающая электронная микроскопия (TEM): 8x-1000000x;
Отображение спектра энергетических потерь электронов (EELS): 20x-315x.
Режимы применения TEM - просвечивающая электронная микроскопия;
EFTEM - просвечивающая электронная микроскопия с использованием энергетического фильтра;
EELS - спектроскопия энергетических потерь электронов;
Elemental Contrast and Analysis — элементный контроль и анализ;
Дифракция;
CBED/LACBED.

Возврат к списку