Автоэмиссионный просвечивающий электронный микроскоп LIBRA® 200MC
Контактное лицо
Описание установки
В просвечивающем электронном микроскопе (ПЭМ) процессы упругого и неупругого рассеяния являются наиболее важными взаимодействиями между первичными электронами и образцом. В частности, неупруго рассеянные электроны содержат большой объём информации о структуре образца, распределении массы и толщине, а также о распределении элементов и молекул. Такая информация не может быть использована в обычных ПЭМ, где неупруго рассеянные электроны даже снижают контрастность и резкость изображения. Однако интеграция энергетического спектрометра в траекторию луча Libra 200MC позволяет полностью использовать информацию, содержащуюся в неупруго рассеянных электронах, и значительно повышает качество изображения и дифракции. Просвечивающий электронный микроскоп с энергетическим фильтром (EFTEM) предлагает гораздо больше режимов работы, чем традиционные ПЭМ, например:
– Визуализация в режиме упругого светлого поля
– Электронная спектроскопия (ESI)
– Электронная спектроскопическая дифракция (ESD)
– Спектроскопия потерь энергии электронами (EELS)
–Визуализация элементного или структурного контраста
– Визуализация потерь плазмонов – Изображение EELS и т. д.
LIBRA® 200 FE OMEGA – это просвечивающий электронный микроскоп с энергетическим фильтром (EFTEM) на 200 кВ. Он разработан для обеспечения высокого разрешения в приложениях TEM/STEM и EFTEM/EELS, в сочетании с оптимальными аналитическими возможностями и включает в себя высокоэффективную систему полевой эмиссии. Уникальное сочетание запатентованной системы освещения Köhler от Carl Zeiss NTS с производительностью полевой эмиссионной пушки обеспечивает всегда параллельное и однородное освещение. Поскольку яркость освещения (размер пятна) и освещенное поле зрения можно регулировать независимо, доступна автоматическая система освещения (AIS), гарантирующая облучение только видимой области образца, что обеспечивает его оптимальную защиту. Встроенный энергетический фильтр типа OMEGA для коррекции аберраций 2-го порядка и получения изохроматического изображения 3-го порядка полностью интегрирован в электронную оптику с цифровым управлением. Полностью новая конструкция 300-миллиметровой колонки и недавно разработанное электронное управление со стабильностью менее ppm обеспечивают высочайшую производительность прибора.
– Визуализация в режиме упругого светлого поля
– Электронная спектроскопия (ESI)
– Электронная спектроскопическая дифракция (ESD)
– Спектроскопия потерь энергии электронами (EELS)
–Визуализация элементного или структурного контраста
– Визуализация потерь плазмонов – Изображение EELS и т. д.
LIBRA® 200 FE OMEGA – это просвечивающий электронный микроскоп с энергетическим фильтром (EFTEM) на 200 кВ. Он разработан для обеспечения высокого разрешения в приложениях TEM/STEM и EFTEM/EELS, в сочетании с оптимальными аналитическими возможностями и включает в себя высокоэффективную систему полевой эмиссии. Уникальное сочетание запатентованной системы освещения Köhler от Carl Zeiss NTS с производительностью полевой эмиссионной пушки обеспечивает всегда параллельное и однородное освещение. Поскольку яркость освещения (размер пятна) и освещенное поле зрения можно регулировать независимо, доступна автоматическая система освещения (AIS), гарантирующая облучение только видимой области образца, что обеспечивает его оптимальную защиту. Встроенный энергетический фильтр типа OMEGA для коррекции аберраций 2-го порядка и получения изохроматического изображения 3-го порядка полностью интегрирован в электронную оптику с цифровым управлением. Полностью новая конструкция 300-миллиметровой колонки и недавно разработанное электронное управление со стабильностью менее ppm обеспечивают высочайшую производительность прибора.
Услуги
- Анализ распределений намагниченности в тонких пленках методом лоренцевой просвечивающей электронной микроскопии на микроскопе LIBRA 200 МС
- Анализ кристаллической структуры объектов методами высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии на микроскопе LIBRA 200 МС
- Исследование состава образцов методом спектрометрии характеристических потерь электронов на микроскопе LIBRA 200 МС
Результаты
- Исследование магнитных наноструктур с неоднородными распределениями намагниченности методом лоренцевой просвечивающей электронной микроскопии
- Исследование с помощью просвечивающей электронной микроскопии поперечных сечений структурных характеристик и особенностей формирования многослойных пленочных наноструктур и приборов, рентгеновских зеркал и композитных структур
- Исследование состава композитных структур методом просвечивающей электронной микроскопии
Технические характеристики
| Диапазон ускоряющих напряжений | 120-200 кВ |
| Пространственное разрешение |
Точка-точка: 0.24 нм; Информационный предел: <0.14 нм. |
| Спектрометр |
Встроенный в колонну, фабрично сьюстированный и настроенный ОМЕГА-типа. Дисперсия: 1.85 мкм/эВ @ 200 кВ; Энергетическое разрешение: <0.2 эВ (c монохроматором); Искажение: <1.5%; Угол объектива камеры: 100 мрад @ Δ=±5 эВ; Угол сбора: >100 мрад @ ΔЕ=±10 эВ. |
| Детектор | 4000×4000 CCD камера (Gatan) |
| Рабочий столик |
Полностью эвцентрический гониометр с 5 степенями свободы. Диапазон наклона α/β: ±30° / ±30° |
| Увеличение |
Просвечивающая электронная микроскопия (TEM): 8x-1000000x; Отображение спектра энергетических потерь электронов (EELS): 20x-315x. |
| Режимы применения |
TEM - просвечивающая электронная микроскопия; EFTEM - просвечивающая электронная микроскопия с использованием энергетического фильтра; EELS - спектроскопия энергетических потерь электронов; Elemental Contrast and Analysis — элементный контроль и анализ; Дифракция; CBED/LACBED. |
