не более 8•10^-7 Торр

Диапазон температур подложки

-30^оС … +350 ^оС

Скорость осаждения материала

0.1…10 нм/с

Контроль скорости/толщины in situ с помощью QCM

Ёмкость подложкодержателя

до 6 подложек размером 12×25×2 мм

Количество независимых испарителей

до 3 шт

Режим испарения

последовательное/параллельное из двух испарителей

Диапазон температур испарителей

100…1500 ^оС

Типы испарителей

тигли, лодочки, спирали

Материалы испарителей

кварц, тантал, вольфрам