Центр коллективного пользования
«Физика и технология микро- и наноструктур»

Наш телефон:
+7 (831) 417 94 55
Почтовая ссылкаckp@ipmras.ru
Главная   |   Карта сайта   |   Обратная связь   |   English version
Электронный микроскоп LIBRA 200MC

Электронный микроскоп LIBRA 200MC

Автоэмиссионный просвечивающий электронный микроскоп высокого разрешения LIBRA® 200MC (Carl Zeiss NTS GmbH, Germany), 2010 г.

Контактное лицо

Внешняя ссылкаГусев Сергей Александрович

Почтовая ссылкаgusev@ipmras.ru

Фото

Описание установки

Автоэмиссионный просвечивающий электронный микроскоп высокого разрешения объединяет в себе встроенный в колонну энергетический ОМЕГА-фильтр, высокоэффективный автоэмиссионный эмиттер и систему освещения образца по Кёлеру. Использование ОМЕГА-фильтра позволяет проводить спектральный анализ для определения химического состава вещества при исследованиях полупроводников, материаловедческом анализе и исследованиях в других областях, а также обеспечивает интегральную фильтрацию изображения.

LIBRA® 200MC обеспечивает высокое разрешение в режимах:

Основные характеристики

Диапазон ускоряющих напряжений

120-200 кВ

Пространственное разрешение
  • Точка-точка: 0.24 нм;
  • Информационный предел: <0.14 нм.

Спектрометр

Встроенный в колонну, фабрично сьюстированный и настроенный ОМЕГА-типа.

  • Дисперсия: 1.85 мкм/эВ @ 200 кВ;
  • Энергетическое разрешение: <0.2 эВ (c монохроматором);
  • Искажение: <1.5%;
  • Угол объектива камеры: 100 мрад @ Δ=±5 эВ;
  • Угол сбора: >100 мрад @ ΔЕ=±10 эВ.

Детектор

4000×4000 CCD камера (Gatan)
Рабочий столик

Полностью эвцентрический гониометр с 5 степенями свободы.

Диапазон наклона α/β: ±30° / ±30°

Увеличение
  • Просвечивающая электронная микроскопия (TEM): 8x-1000000x;
  • Отображение спектра энергетических потерь электронов (EELS): 20x-315x.
Режимы применения
  • TEM - просвечивающая электронная микроскопия;
  • EFTEM - просвечивающая электронная микроскопия с использованием энергетического фильтра;
  • EELS - спектроскопия энергетических потерь электронов;
  • Elemental Contrast and Analysis — элементный контроль и анализ;
  • Дифракция;
  • CBED/LACBED.

Оборудование ЦКП