Автоэмиссионный просвечивающий электронный микроскоп высокого разрешения LIBRA® 200MC (Carl Zeiss NTS GmbH, Germany), 2010 г.
Автоэмиссионный просвечивающий электронный микроскоп высокого разрешения объединяет в себе встроенный в колонну энергетический ОМЕГА-фильтр, высокоэффективный автоэмиссионный эмиттер и систему освещения образца по Кёлеру. Использование ОМЕГА-фильтра позволяет проводить спектральный анализ для определения химического состава вещества при исследованиях полупроводников, материаловедческом анализе и исследованиях в других областях, а также обеспечивает интегральную фильтрацию изображения.
LIBRA® 200MC обеспечивает высокое разрешение в режимах:
Диапазон ускоряющих напряжений |
120-200 кВ |
Пространственное разрешение |
|
Спектрометр |
Встроенный в колонну, фабрично сьюстированный и настроенный ОМЕГА-типа.
|
Детектор |
4000×4000 CCD камера (Gatan) |
Рабочий столик |
Полностью эвцентрический гониометр с 5 степенями свободы. Диапазон наклона α/β: ±30° / ±30° |
Увеличение |
|
Режимы применения |
|