Высоковакуумый сканирующий зондовый микроскоп. Производство — НТ-МДТ (Россия).
Вакуум | 5*10-7 Торр |
Насосы | форвакуумный насос и турбомолекулярный насос с ротором на магнитном подвесе |
Диапазон температур | Охлаждение: азотное до 110К, гелиевое до 50К. Нагрев до 150°С. Стабильность поддержания температуры 0.1°. |
Размер образца | порядка 10×10 мм |
Диапазон сканирования | 60×60×3 мкм |
Магнитное поле | до 0.8 кГс |
АСМ, МСМ, ЭСМ и т. д. измерения поверхности образцов. В условиях высокого вакуума существенно повышается чувствительность колебательных методик зондовой микросткопии, что повышает точность измерений слабых сил. Это особенно важно при высокочувствительных магнитных измерениях (МСМ), при использовании метода зонда Кельвина и сканирующей емкостной микроскопии и т. д.