Производитель — Протон МИЭТ .
Королев Сергей Александрович
Микроскоп атомно-силовой CMM2000 — это высокоточный сканирующий зондовый микроскоп, предназначенный для исследования наноструктур и поверхностей с атомарным разрешением.
Размер образца |
до 32×23×3 мм |
Максимальный размер поля сканирования |
до 18×18×2.5 мкм |
Разрешение |
по вертикали — до 0,1 нм, по горизонтали — до 1 нм |
Режимы работы |
контактный, полуконтактный, бесконтактный |
Зонды |
NSG30 (кремниевые кантилеверы с высокой жесткостью и золотым рефлектором) |
Система позиционирования |
пьезоэлектрический сканер с замкнутым контуром обратной связи |
Новиков Алексей Витальевич
зам. директора ИФМ РАН
Телефон: +7 (831) 4179480
Факс: +7 (831) 4179474
E-mail: anov@ipmras.ru