Оборудование ЦКП

С 2017 года в состав ЦКП «Физика и технология микро- и наноструктур» включен УСУ «Фемтоспектр».

Перечень основного научного оборудования ЦКП ИФМ РАН:

• Дифрактометр рентгеновский Philips X'Pert PRO MRD, Philips, Нидерланды, 2002 г.
• Дифрактометр рентгеновский PANalitical X'Pert PRO MRD, PANalitical, Нидерланды, 2006 г.
• Дифрактометр рентгеновский D8 Discover, Bruker, Германия, 2011 г.
• Стенд рентгеновской спектроскопии для диапазона 0.8-200 нм.
• Стенд спектральных измерений на основе лазерно-плазменного источника, 4-50 нм.

• Автоэмиссионный просвечивающий электронный микроскоп высокого разрешения LIBRA-200MC, Carl Zeiss, Германия, 2010 г.
• Сканирующий электронный микроскоп Supra 50VP, Carl Zeiss, Германия, 2005 г.
• Двухлучевая система с высоким разрешением для исследования и подготовки образцов Neon 40, Carl Zeiss, Германия, 2009 г.

• Сканирующий зондовый микроскоп Solver PRO, НТ-МДТ, Россия, 1998 г.
• Сканирующий зондовый микроскоп Solver HV, НТ-МДТ, Россия, 2006 г.
• Оптическая измерительная система Talysurf CCI 2000, Taylor & Hobson, Великобритания, 2006 г.
• Профилометр модели 130, Протон-МИЭТ, 2011 г.

• Комплекс фурье-спектроскопии высокого разрешения на основе BOMEM DA3.36, Канада, 1988г., модернизация 2001 г.
• Фурье-спектрометр Vertex 80V, BRUKER OPTIC GmbH, Германия, 2006 г.
• Вторично-ионный масс-спектрометр TOF. SIMS-5/100, IonTOF, Германия, 2008 г.

• Комплект для СВЧ-измерений сверхпроводников. Agilent, Tektonix, США, 2004, 2006 гг.

В перечень включены дорогостоящие приборы, стоимостью свыше 3 млн. руб.