Аналитический автоэмиссионный электронно-ионный (двухлучевой) растровый электронный микроскоп для исследования наноструктур, нанопрепарирования, электронно-лучевой и ионно-лучевой литографии, инспекционных целей и подготовки сверхтонких срезов для исследований методами ПЭМ (изготовитель ZEISS, Германия).
Электронная колонна |
Ионная колонна |
|
Пространственное разрешение |
1.1 нм при 20 кВ, |
7 нм при 30кВ (гарантировано), |
Диапазон увеличений |
20х — 900kх |
600х — 500kх |
Диапазон рабочих токов |
4 пА - 20 нА |
1 пА - 50 нА |
Диапазон ускоряющих напряжений |
0,1 — 30 kВ |
2 — 30 kВ |
Источник электронов/ионов |
Автоэмиссионный (термоэмиссионного типа). |
Автоэмиссионный Ga |
Встроенные детекторы |
|
|
Рабочая камера |
Диаметр 520 мм, высота 300 мм |
|
Вакуумная система |
Полностью безмаслянная |
|
Газовая система |
Система микроподачи газовых смесей (на 5 резервуаров одновременно) — для ионного травления, резки, осаждения и иных операций. |
|
Дополнительные системы |
Встроенная антивибрационная подвеска |
|
Графика |
С разрешением не хуже 3072×2304 пикселей |
Система Neon 40 представляет собой комбинацию автоэмиссионной электронно-оптической колонны GEMINI и автоэмиссионной ионной колонны, сфокусированных в единую точку фокуса. В серии реализованы самые последние достижения в области электронной и ионной оптики для применения во всех областях исследований, связанных с нанотехнологиями.
Электронно-оптическая колонна GEMINI использует уникальную комбинацию детекторов для получения изображений рельефа поверхности с одновременным отображением композиционного контраста в нанометровом масштабе.
Ионная колонна позволяет получать изображения структуры материала с учетом его химического состава. Комбинация двух высокоразрешающих колонн в едином приборе дает пользователям не имеющий прямых аналогов инструмент для наноманипулирования на высоких и сверхвысоких увеличениях. Все процессы, производимые ионным лучом или микро/наноманипулятором, наблюдаются в режиме онлайн.
В системе Neon 40 используются три интегрированные системы детектирования сигнала:
Также используются три режима работы:
Помимо уникальных по разрешению и выдающихся по качеству изображений (топологии поверхности, композиционного контраста поверхности, карт разориентации кристаллов, карты ориентации магнитных доменов и т. п.), пользователи получают возможность заглянуть внутрь образца без нарушения его естественной структуры. Какой бы ни была поставленная задача — работа с металлами, инспекция полупроводниковых приборов, прецизионное препарирование биологических образцов, анализ слоистых структур, исследования керамик и полимеров, электронная или ионная литография, модификация ультрамалых структур (образцов), ионное травление/осаждение и даже 3D анализ — Neon 40 уже рассчитан на ее решение.