Центр коллективного пользования
«Физика и технология микро- и наноструктур»

Наш телефон:
+7 (831) 417 94 55
Почтовая ссылкаckp@ipmras.ru
Главная   |   Карта сайта   |   Обратная связь   |   English version
Электронный микроскоп Neon 40

Электронный микроскоп Neon 40

Аналитический автоэмиссионный электронно-ионный (двухлучевой) растровый электронный микроскоп для исследования наноструктур, нанопрепарирования, электронно-лучевой и ионно-лучевой литографии, инспекционных целей и подготовки сверхтонких срезов для исследований методами ПЭМ (изготовитель ZEISS, Германия).

Контактное лицо

Внешняя ссылкаГусев Сергей Александрович

Почтовая ссылкаgusev@ipmras.ru

Фото

Технические характеристики

Электронная колонна

Ионная колонна

Пространственное разрешение

1.1 нм при 20 кВ,
2.5 нм при 1 кВ

7 нм при 30кВ (гарантировано),
5 нм (достижимо)

Диапазон увеличений

20х — 900kх

600х — 500kх

Диапазон рабочих токов

4 пА - 20 нА

1 пА - 50 нА

Диапазон ускоряющих напряжений

0,1 — 30 kВ

2 — 30 kВ

Источник электронов/ионов

Автоэмиссионный (термоэмиссионного типа).
Стабильность лучше, чем 0.2% в час

Автоэмиссионный Ga

Встроенные детекторы

  1. EsB и BSE детекторы;
  2. In-lens SE;
  3. Детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли;
  4. ИК-камера для обзора рабочей камеры.

Рабочая камера

Диаметр 520 мм, высота 300 мм
Столик: X/Y = 152 мм, Z = 43 мм, наклон -150 ÷ +650, вращение 3600

Вакуумная система

Полностью безмаслянная

Газовая система

Система микроподачи газовых смесей (на 5 резервуаров одновременно) — для ионного травления, резки, осаждения и иных операций.

Дополнительные системы

Встроенная антивибрационная подвеска

Графика

С разрешением не хуже 3072×2304 пикселей

Проводимые измерения

Система Neon 40 представляет собой комбинацию автоэмиссионной электронно-оптической колонны GEMINI и автоэмиссионной ионной колонны, сфокусированных в единую точку фокуса. В серии реализованы самые последние достижения в области электронной и ионной оптики для применения во всех областях исследований, связанных с нанотехнологиями.

Электронно-оптическая колонна GEMINI использует уникальную комбинацию детекторов для получения изображений рельефа поверхности с одновременным отображением композиционного контраста в нанометровом масштабе.

Ионная колонна позволяет получать изображения структуры материала с учетом его химического состава. Комбинация двух высокоразрешающих колонн в едином приборе дает пользователям не имеющий прямых аналогов инструмент для наноманипулирования на высоких и сверхвысоких увеличениях. Все процессы, производимые ионным лучом или микро/наноманипулятором, наблюдаются в режиме онлайн.

В системе Neon 40 используются три интегрированные системы детектирования сигнала:

Также используются три режима работы:

Помимо уникальных по разрешению и выдающихся по качеству изображений (топологии поверхности, композиционного контраста поверхности, карт разориентации кристаллов, карты ориентации магнитных доменов и т. п.), пользователи получают возможность заглянуть внутрь образца без нарушения его естественной структуры. Какой бы ни была поставленная задача — работа с металлами, инспекция полупроводниковых приборов, прецизионное препарирование биологических образцов, анализ слоистых структур, исследования керамик и полимеров, электронная или ионная литография, модификация ультрамалых структур (образцов), ионное травление/осаждение и даже 3D анализ — Neon 40 уже рассчитан на ее решение.

Оборудование ЦКП