Центр коллективного пользования
«Физика и технология микро- и наноструктур»

Наш телефон:
+7 (831) 417 94 55
Почтовая ссылкаckp@ipmras.ru
Главная   |   Карта сайта   |   Обратная связь   |   English version
Профилометр 130

Профилометр модели 130

Производитель — Завод Протон-МИЭТ (Москва), 2011.

Контактное лицо

Внешняя ссылкаДроздов Юрий Николаевич

Почтовая ссылкаdrozdyu@ipmras.ru

Фото

Описание установки

Профилометр модели 130 («Завод Протон-МИЭТ», Москва) предназначен для измерений параметров профиля и параметров шероховатости поверхности по системе средней линии (ГОСТ 25142-82), с разделением «волнистости» и «шероховатости» по ГОСТ 2789-73. Прибор внесен в Государственный реестр средств измерения, регистрационный № 33319-06. Область применения — метрологические центры, лаборатории научно-исследовательских и учебных институтов, лаборатории и центры экспертизы и контроля, предприятия машиностроительной, автомобильной, подшипниковой и других отраслей промышленности.

Профилометр состоит из индуктивного датчика с иглой и опорой на измеряемую поверхность, закрепляемого в электромеханическом приводе, с помощью которого он перемещается по горизонтальной измеряемой поверхности. В вертикальном направлении, для обеспечения контакта датчика с измеряемой деталью, привод с датчиком перемещается по колонне, установленной на плите, на которой базируется измеряемая деталь. Действие профилометра основано на принципе ощупывания неровностей измеряемой поверхности щупом (алмазной иглой) в процессе перемещения вдоль измеряемой поверхности и последующего преобразования возникающих при этом вертикальных перемещений щупа в цифровой сигнал. Щуп встроен в блок датчика, который при сканировании ползет по поверхности образца своей опорой. Поэтому измерение профиля идет относительно опоры, представляющей собой твердосплавный полированный сегмент диска, неподвижно закрепленный на датчике.

Профилометр -130. Измерение тестового образца — канавки 5018 нм

В ЦКП ИФМ РАН прибор используется в комплекте с оптической измерительной системой Talysurf CCI 2000, где измерения высот точек поверхности выполняются по интерференционной картине. Измерения на Talysurf CCI 2000 становятся некорректными в случае прозрачных покрытий, когда отражение от внутренних границ сильнее, чем от границы с воздухом. Контактный профилометр модели 130 дает в этих случаях возможность измерить высоту ступенек на поверхности. В качестве примера выполненных измерений на рисунке приведен результат промера на профилометре модели 130 тестового образца из комплекта Talysurf CCI 2000. В рабочем окне программы управления и обработки профиля видно, что глубина канавок 5018 нм измеряется достаточно точно.

Прибор прошел первичную метрологическую поверку со сроком действия до 17.08.2013 года.

Оборудование ЦКП