Краткая история ЦКП

Центр коллективного пользования «Физика и технология микро- и наноструктур», ЦКП ИФМ РАН, образован на базе Института физики микроструктур РАН приказом директора ИФМ РАН №27 от 12.03.2003.

Руководителем ЦКП назначен заместитель директора ИФМ РАН Шашкин Владимир Иванович.

ИФМ РАН с самого начала проектировался как центр коллективного пользования европейского уровня, куда будут приезжать исследователи из России и зарубежья. Для этого планировалось построить три корпуса: №1 — исследовательский, №3 — технологический, где должны размещаться и экспериментальные мастерские, и №2 с общежитием для приезжающих и большим залом для проведения конференций. К сожалению, ко времени завершения строительства в начале 1990-х финансирование науки резко снизилось, и корпус №2 не удалось построить. Тем не менее, корпуса №1 и №3 были введены в эксплуатацию, и институт начал успешно работать.

Оборудование ЦКП пополнялось в ходе выполнения госконтрактов в рамках мероприятия 5.2 Федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2012 годы»:

2006 год - Госконтракт № 02.451.11.7054 «Научно-методическое, организационное и материально-техническое обеспечение текущего содержания центра коллективного пользования «Физика и технология микро-и наноструктур» научным оборудованием для проведения научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ по приоритетным направлениям программы».

Приобретены: Измерительная система Talysurf CCI 2000 (оптическая измерительная система для анализа микрообъектов с цифровым синтезом 3-х мерного изображения по функциям когерентности) и синтезатор частот Agilent марки E8257D-540 (диапазон от 250 кГц ÷ 40 ГГц. Шаг перестройки частоты 0,01 Гц, выходная мощность 17 dbm).

2007-2008 годы - Госконтракт № 02.552.11.7015 «Выполнение работ по развитию центра коллективного пользования «Физика и технология микро- и наноструктур» научным оборудованием».

Приобретены: вторично-ионный масс-спектрометр TOF. SIMS5-100; цистерна криогенная ТРЖК-8М; комплектующие к прибору Talysurf CCI 2000 (объектив 50x и калибровочное зеркало RMS 0.2нм); комплектующие для модернизации лазерной системы фирмы ЗАО «Солар Лазерные Системы» (комплекты сменной оптики и системы фильтрации ИК излучения с параметрическими генераторами света в диапазонах перестройки 0.42-2.5 мкм, 1.9-2.4 мкм, 2.65-4 мкм и 10-17 мкм.

Сотрудники ЦКП активно разрабатывали методы анализа, о чем свидетельствуют защищенные ими докторские диссертации:

• Андреев Б. А. Инфракрасная спектроскопия электрически активных примесей в кремнии и германии. (2004 год).
• Дроздов Ю. Н. Рентгеновская дифрактометрия гетероэпитаксиальных слоев и многослойных структур на их основе. (2006 год);
• Миронов В. Л. Сканирующая зондовая микроскопия твердотельных наноструктур (2009 год);
• Чхало Н. И. Методы диагностики структурных и дисперсионных свойств многослойных рентгеновских зеркал (2009 год);