Определение параметров многослойных зеркал в диапазоне экстремального ультрафиолета и мягкого рентгена на стендах ИФМ РАН

Прибор позволяет получать кривые зеркального отражения и диффузного рассеяния рентгеновского излучения и может быть применен для определения параметров (периода, шероховатости межслоевых границ, плотностей материалов) многослойных периодических структур и пленок с d ~ 0.8-100 нм. В том числе — распределение величины периода по поверхности зеркала.