Многослойные зеркала на основе Cr/Ti для рентгеновской микроскопии в «окне прозрачности воды»

Рис. 1. Зависимость коэффициента отражения (а) и эффективного количества отражающих слоев Neff от толщины буферных слоев B4C в МРЗ на основе Cr/Ti (b).

Работа посвящена изучению МРЗ Cr/Ti с буферными слоями B4C на разных границах раздела и без них. Изготовленные методом магнетронного напыления Cr/Ti МРЗ изначально обладали отражением на уровне R =5% на длине волны 2.74 nm. Причиной меньшего, по сравнению с теоретический пределом, коэффициента отражения является перемешивание материалов многослойной системы между собой, из-за чего плотности слоев сильно отличаются от табличных значений, что приводит к падению оптического контраста на границах. Добавление тонких, порядка 1 ангстрема, буферных слоев B4C на любую границу раздела приводит к росту отражательной способности за счет меньшего перемешивания слоев МРЗ между собой, в результате чего плотности слоев приближаются к табличным значениям. Наибольшее увеличение коэффициента отражения до значений R = 11 ± 2% достигается при осаждении буферных слоев B4C на более плотные слои Cr.