Определение характеристик многослойных структур Mo/Si, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
Рис. 1. Сравнение коэффициентов отражения многослойных зеркал Mo/Be/Si и Mo/Be, измеренных лабораторными и синхротронными рефлектометрами.
Для проверки точности измерений разработанного лабораторного рефлектометра и подтверждения нашей методики мы сравнили результаты, полученные на рефлектометре, с результатами измерений тех же образцов, проведенных на оптическом канале синхротрона BESSY II.
На рисунке показано сравнение коэффициентов отражения многослойных зеркал Mo/Be/Si и Mo/Be, измеренных лабораторными и синхротронными рефлектометрами.
Эти структуры очень удобны в качестве эталонных образцов, поскольку обладают высокой временной стабильностью. Как показано на рисунке, коэффициенты отражения обоих зеркал составляют около 70%, а кривые хорошо согласуются как по форме, так и по величине пикового коэффициента отражения. Погрешности указывают пределы, в которых находятся измеренные кривые отражения. Сравнивая результаты, оцениваем погрешность измерений коэффициента отражения на уровне ±0,5% от измеряемой величины, что вполне достаточно для большинства практических задач.
Для проверки точности измерений разработанного лабораторного рефлектометра и подтверждения нашей методики мы сравнили результаты, полученные на рефлектометре, с результатами измерений тех же образцов, проведенных на оптическом канале синхротрона BESSY II.
На рисунке показано сравнение коэффициентов отражения многослойных зеркал Mo/Be/Si и Mo/Be, измеренных лабораторными и синхротронными рефлектометрами.
Эти структуры очень удобны в качестве эталонных образцов, поскольку обладают высокой временной стабильностью. Как показано на рисунке, коэффициенты отражения обоих зеркал составляют около 70%, а кривые хорошо согласуются как по форме, так и по величине пикового коэффициента отражения. Погрешности указывают пределы, в которых находятся измеренные кривые отражения. Сравнивая результаты, оцениваем погрешность измерений коэффициента отражения на уровне ±0,5% от измеряемой величины, что вполне достаточно для большинства практических задач.