Нанесение тонких пленок металлов и диэлектриков с помощью установки резистивного и электронно-лучевого испарения с холловским ионным источником Amod 206

Нанесение тонких пленок
Установка позволяет получать тонкие пленки в вакууме путем физического осаждения наносимого материала из газовой фазы. Преимуществами установки является высокое качество осаждаемых пленок, чистота процесса и возможность получать сложные многослойные покрытия за один процесс. Вращающийся столик подложкодержателя обеспечивает однородность пленки по поверхности. Возможно осаждение металлов и диэлектриков, в том числе материалов с высокой температурой плавления.   

Таким образом услуга является незаменимым инструментом в создании тонких пленок различных материалов, которые необ ходимы для изготовления высокотехнологичных изделий. 

Контактное лицо

Архипова Екатерина Александровна, м.н.с. ИФМ РАН

suroveginaka@ipmras.ru

+7 (831) 417−94−96

Стоимость

10000 руб./час без НДС

Заказчики

  • Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики имени А. В. Гапонова-Грехова РАН 
  • Институт физики микроструктур РАН 
  • ООО «МеГаЭпитех» 
  • Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского 
  • АО АНПП «ТЕМП-АВИА»

Возврат к списку