Нанесение тонких пленок металлов и диэлектриков с помощью установки резистивного и электронно-лучевого испарения с холловским ионным источником Amod 206
Установка позволяет получать тонкие пленки в вакууме путем физического осаждения наносимого материала из газовой фазы. Преимуществами установки является высокое качество осаждаемых пленок, чистота процесса и возможность получать сложные многослойные покрытия за один процесс. Вращающийся столик подложкодержателя обеспечивает однородность пленки по поверхности. Возможно осаждение металлов и диэлектриков, в том числе материалов с высокой температурой плавления.
Таким образом услуга является незаменимым инструментом в создании тонких пленок различных материалов, которые необ ходимы для изготовления высокотехнологичных изделий.
Таким образом услуга является незаменимым инструментом в создании тонких пленок различных материалов, которые необ ходимы для изготовления высокотехнологичных изделий.
Оборудование
Контактное лицо
Стоимость
10000 руб./час без НДСРезультаты
Заказчики
- Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики имени А. В. Гапонова-Грехова РАН
- Институт физики микроструктур РАН
- ООО «МеГаЭпитех»
- Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
- АО АНПП «ТЕМП-АВИА»
