Изготовление сверхпроводящих пленок иридия и бислоев Ir/Au, Ir/Pt
Рис. 1. – Диагностика пленки Ir методом малоугловой рентгеновской рефлектометрии
Рис. 2. – Сверхпроводящий переход R(T) пленки иридия
Методом электронно-лучевого распыления при температурах от комнатной до 400°С были изготовлены тонкие пленки иридия и бислои Ir-Au, Ir/Pt для низкотемпературных микрокалориметров. Толщина слоев иридия составляла от 14 до 135 нм. Методом рентгеновской рефлектометрии были определены плотности осажденных материалов, которые были близки к табличным значениям (рис.1). Пленки обладали высокой гладкостью и однородностью по поверхности. Полученная пленка иридия демонстрирует сверхпроводящий переход с температурой перехода около 170 mK и шириной перехода несколько мК (рис.2).