Нанесение тонкопленочных и многослойных структур с использованием установок термического напыления на базе ВУП-5
Данная услуга позволяет получать тонкие пленки (слои), состоящие из металлов, низкомолекулярных соединений, или неорганических диэлектриков. Особенностью и уникальным преимуществом оборудования является возможность дополнительной очистки исходного органического соединения непосредственно перед напылением (при условии его сублимируемости). Благодаря наличию нескольких испарителей в рамках одного технологического цикла могут быть получены многослойные структуры. В результате заказчик получает образцы, пригодные как для различных аналитических исследований, так и для измерения электрических характеристик в той или иной геометрии.
Оборудование
Контактное лицо
Стоимость
7500 руб./час без НДСРезультаты
Заказчики
- Институт физики микроструктур Российской академии наук
- Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского
- Институт органической и физической химии им. А.Е. Арбузова - обособленное структурное подразделение Федерального государственного бюджетного учреждения науки «Федеральный исследовательский центр «Казанский научный центр Российской академии наук»
- Институт металлоорганической химии им. Г. А. Разуваева Российской академии наук
- Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН
- Ивановский государственный химико-технологический университет
