ЦКП «Физика и технология микро-и наноструктур»
(831) 417 94 91
ckp@ipmras.ru
О ЦКП ИФМ РАН
Услуги
Оборудование
Результаты
УСУ "Фемтоспектр"
Порядок доступа
Научные методики
Пользователи
Документы
Институт физики микроструктур РАН
(831) 417 94 91
ckp@ipmras.ru
Литография
Главная
Оборудование ЦКП
Литография
Аппаратно-программный комплекс электронной литографии ELPHY PLUS
Лазерный генератор микро-изображений mPG101
Установка совмещения и экспонирования контактной фотолитографии SUSS MJB4