Нанесение многослойных покрытий с использованием установок магнетронного и магнетронно-ионного напыления многослойных структур

Нанесение тонкопленочных покрытий (тонких пленок и многослойных зеркал) на подложки (монокристаллический кремний, float glass, кварц и пр.) размером до 200 мм. Возможно напыление покрытий на подложки различной формы: плоские, вогнутые или выпуклые. В качестве материалов могут использоваться различные металлы, полупроводники и даже диэлектрики. Характерные значения толщин от ~1 нм до ~десятков микрон. Благодаря наличию ионной пушки в одной из установок есть возможность полировки подложек с помощью ионного пучка. Загрузка образцов проводится через шлюзовую камеру, находящуюся внутри «чистого» бокса, что существенно экономит трудозатраты и повышает качество напыляемых структур.

Оборудование
· Установка, оснащенная 6-ю магнетронами
· Установка, оснащенная 4-мя магнетронами и ионной пушкой