Синтезированы и изучены отражательные характеристики и структурные параметры многослойных рентгеновских зеркал на основе пары материалов Cr/C

Рис. 1. Измеренные зависимости коэффициента отражения от угла скольжения излучения на длине волны 4,47 нм. Красная кривая соответствует зеркалу Cr/C, синяя кривая – Cr/C_pass, зеленая кривая – Cr_pass/C, фиолетовая кривая – Cr_pass/C_pass, где индекс pass означает пассивацию азотом соответствующего слоя.

Пассивация слоев углерода привела к существенному уменьшению величины переходной области на границе Cr-на-C с 0,51 нм до 0,39 нм. Измеренный коэффициент отражения для Cr/C_pass структуры составил R = 19,5%. Пассивация слоев хрома не привела к уменьшению переходной области на границе C-на-Cr. Значение коэффициента отражения для структуры с пассивацией обеих границ совпадает с тем, что было получено для структуры вида Cr/C_pass, что подтверждает тезис о том, что пассивация слоев углерода положительно влияет на отражательные характеристики зеркала, в то время как пассивация слоев хрома не приводит к аналогичному результату. Учитывая вышесказанное, было синтезировано зеркало нормального падения вида Cr/C_pass с величиной периода d = 2,25 нм и числом периодов N = 200. Пиковый коэффициент отражения данной структуры составил R = 20,2% на длине волны λ = 4,47 нм.