Контактная фотолитография с использованием установки совмещения и экспонирования SUSS MJB4
Проведения операций прецизионного совмещения фотошаблонов с подложками и экспонирования нанесённых на них тонких слоёв фоторезистов источником света ультрафиолетового диапазона UV400.
Контактное лицо
Стоимость
6500 руб./час без НДСРезультаты
Заказчики
• Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева• Институт физики микроструктур РАН