Селективное вытравливание кремния из столбиков с нанокристаллическими алмазными стенками
Рис. 1. Катодный элемент со стенками из нанокристаллического алмаза
Был разработан способ изготовления элементов матрицы автоэмиссионных трубчатых катодов, обладающих высокими эмиссионными характеристиками и стабильностью тока при продолжительном ресурсе службы путем селективного вытравливания кремния из цилиндрических столбиков с нанокристаллическими алмазными стенками в SF6 плазме. Сами столбики были сформированы предварительным безмасочным анизотропным травлением алмазной пленки в плазме O2+Ar+Не.
Оборудование
Контактное лицо
Публикации
- А.Л. Вихарев, А.И. Охапкин, А.Н. Ухов, Н.Ю. Кузнецова. Способ изготовления катодного узла микротриода с трубчатым катодом из нанокристаллической алмазной пленки (варианты), Патент на изобретение № 2794423 C1, опубликовано 18.04.2023
- А.Л. Вихарев, А.И. Охапкин, А.Н. Ухов, Н.Ю. Кузнецова. Способ изготовления катодного узла микротриода с трубчатым катодом из нанокристаллической алмазной пленки (варианты), Патент на изобретение № 2794423 C9, опубликовано 26.05.2023
- А.Л. Вихарев, С.А. Богданов, А.И. Охапкин, А.Н. Ухов, Е.А. Филатов. Способ изготовления матрицы автоэмиссионных трубчатых катодов на основе легированных нанокристаллических алмазных пленок, Патент на изобретение № 2784410 C1, опубликовано 24.11.2022.