Плазмохимическое осаждение однослойных и многослойных пленок DLC с варьируемым соотношением sp2/sp3 фаз углерода

Нанесение тонких пленок
Рис. 1. СЭМ изображение пленки DLC на кремнии (вид с торца)
Рис. 1. СЭМ изображение пленки DLC на кремнии (вид с торца)
Рис. 2. АСМ изображение поверхности пленки DLC
Рис. 2. АСМ изображение поверхности пленки DLC
Рис. 3. Модуляция плотности многослойных пленок DLC по толщине
Рис. 3. Модуляция плотности многослойных пленок DLC по толщине
В ректоре высокоплотной плазмы были получены ультрагладкие однослойные и многослойные пленки алмазоподобного углерода (DLC) на подложках из кремния, арсенида галлия и монокристаллического алмаза. За счет встроенной в центр реактора системы подачи реагентов в виде газораспределительного кольца процесс осаждения пленок происходит равномерно, даже для пластин большого диаметра (100 мм). Путем варьирования в широких пределах рабочих параметров (потоков газов, давления, индуктивной и ёмкостной мощности) на установке PlasmaLab 80 реализована возможность получения пленок DLC с различным содержанием sp3 фазы углерода, а также многопериодных структур с модуляцией плотности по толщине. Данные пленки находят свое применение в качестве защитных покрытий МЭМС, основы химически стойких масок для жидкостного травления, активного слоя в углеродных мемристорах. Имеется значительное число публикаций по данной теме.

Оборудование

Контактное лицо

Охапкин Андрей Игоревич, н.с. ИФМ РАН

poa89@ipmras.ru

+7 (831) 417−94−50

Публикации

  • A. Okhapkin, M. Drozdov, P. Yunin, S. Kraev, S. Korolyov and D. Radishev. Multilayer diamond-like carbon films on monocrystalline diamond, Physica status solidi (a) applications and materials science, 221 (2024), 2400345
  • А.И. Охапкин, С.А. Краев, П.А. Юнин, С.А. Королев, Д.Б. Радищев, N. Kumar. Термический отжиг многослойных пленок алмазоподобного углерода с варьируемым содержанием sp3-фазы, Письма в ЖТФ, 2024, т. 50, № 13, с. 12-15
  • А.И. Охапкин, С.А. Королев, С.А. Краев, П.А. Юнин, Е.А. Архипова. Электрофизические свойства многослойных пленок алмазоподобного углерода с различным содержанием sp3-фазы, Письма в ЖТФ, 2024, т. 50, № 17, с. 30-33
  • А.И. Охапкин, М.Н. Дроздов, П.А. Юнин, С.А. Краев, Д.Б. Радищев. Плазмохимическое осаждение гидрогенизованных пленок DLC с различным содержанием водорода и sp3 -гибридного углерода,  ФТП, 2023, т. 57, № 5, с. 309-312
  • А.И. Охапкин,  П.А. Юнин, Е.А. Архипова,  С.А. Краев,  С.А. Королев, М.Н. Дроздов, В.И. Шашкин. Формирование омических контактов к слою алмазоподобного углерода, осажденному на диэлектрическую алмазную подложку, ФТП, 2020, т. 54, № 9, с. 865-867
  • П.А. Юнин,  А.И. Охапкин, М.Н. Дроздов, С.А. Королев,  Е.А. Архипова, С.А. Краев, Ю.Н. Дроздов, В.И. Шашкин, Д.Б. Радищев. Модификация соотношения sp^2/sp^3-гибридного углерода в PECVD пленках DLC, ФТП, 2020, т. 54, № 9, с. 855-858
  • М.Н Дроздов, Ю.Н. Дроздов, А.И. Охапкин, П.А. Юнин, О.А. Стрелецкий, А.Е. Иешкин. Анализ углеродсодержащих материалов методом вторично-ионной масс-спектрометрии: содержание атомов углерода в sp2 - и sp3 -гибридных состояниях, Письма в ЖТФ, 2020, т. 46, № 6, с. 38-42
  • М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, А.И. Охапкин, С.А. Краев, М.А. Лобаев. Новый подход к анализу фазового состава углеродсодержащих материалов методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии, Письма в ЖТФ, 2019, т. 45, № 2, с. 50-54.
  • Охапкин А.И., Юнин П.А., Дроздов М.Н., Королев С.А., Краев С.А., Архипова Е.А., Скороходов Е.В., Бушуйкин П.А., Шашкин В.И. Плазмохимическое осаждение алмазоподобных пленок на поверхности монокристаллического высоколегированного алмаза, ФТП, 2019, т. 53, № 9, с. 1229-1232.

Возврат к списку