Определение параметров многослойных тонкопленочных SFS структур методом малоугловой рефлектометрии

Диагностика структуры и состава
Определение толщин слоев в трехслойной SFS структуре Nb/NiCu/Nb методом малоугловой рентгеновской рефлектометрии с точностью лучше 1 нм
Определение толщин слоев в трехслойной SFS структуре Nb/NiCu/Nb методом малоугловой рентгеновской рефлектометрии с точностью лучше 1 нм
Использование геометрии параллельного пучка на рентгеновском дифрактометре Bruker D8 Discover позволяет проводить эксперименты по малоугловой рефлектометрии монокристаллических, поликристаллических и аморфных многослойных структур. Продвинутое программное обеспечение для решения обратной задачи, отработанные методики и подходы к проведению эксперимента и анализу данных дают возможность анализировать толщины, плотности и шероховатости слоев для структур с достаточно большим количеством слоев. Так, метод был применен для анализа трехслойных металлических структур сверхпроводник/ферромагнетик/сверхпроводник. Толщины слоев были определены с точностью выше 1 нм. Полученные таким образом экспериментальные оценки для эффекта близости хорошо совпали с теоретически рассчитанными значениями.

Контактное лицо

Юнин Павел Андреевич, зав. лаб., с.н.с. ИФМ РАН

yunin@ipmras.ru

+7 (831) 417−94−91

yunin_pavel

Публикации

• С. Н. Вдовичев, Ю. Н. Ноздрин, Е. Е. Пестов, П. А. Юнин, А. В. Самохвалов, Фазовые переходы в гибридных SFS структурах с тонкими сверхпроводящими слоями, Письма в ЖЭТФ, 2016, Т. 104, вып. 5, с. 336-341
• Уставщиков С.С., Аладышкин А.Ю., Курин В.В., Маркелов В.А., Елькина А.И., Клушин А.М., Юнин П.А., Рогов В.В., Водолазов Д.Ю. СВЧ-импеданс тонкопленочных гибридных структур сверхпроводник-нормальный металл с большим отношением проводимостей, ФТТ, 2019, Т. 61, вып. 9, с. 1722-1728
• Дроздов М.Н., Данильцев В.М., Архипова Е.А., Хрыкин О.И., Юнин П.А., Гордеева А.В., Сафонова В.Ю., Пиманов Д.А., Панкратов А.Л., Структурные и сверхпроводящие свойства пленок вольфрама и иридия для низкотемпературных микрокалориметров, Физика твердого тела, 2024, том 66, вып. 7, с. 1075-1080

Возврат к списку