Прецизионная ориентировка монокристаллических подложек HPHT алмаза

Диагностика структуры и состава
схема юстировки образца на Эйлеровой подвеске дифрактометра с использованием коллиматорной системы
схема юстировки образца на Эйлеровой подвеске дифрактометра с использованием коллиматорной системы
схема эксперимента по определению ориентации монокристалла с использованием Эйлеровой подвески
схема эксперимента по определению ориентации монокристалла с использованием Эйлеровой подвески
положение кристаллографической системы координат (abc) относительно с/к, связанной с формой образца (XYZ)
положение кристаллографической системы координат (abc) относительно с/к, связанной с формой образца (XYZ)
углы, описывающие разориентацию нормали к поверхности образца и кристаллографического направления в задаче определения угла разориентации
углы, описывающие разориентацию нормали к поверхности образца и кристаллографического направления в задаче определения угла разориентации
Зависимость скорости травления монокристаллического HPHT алмаза от угла разориентации поверхности относительно кристаллографической плоскости (001)
Зависимость скорости травления монокристаллического HPHT алмаза от угла разориентации поверхности относительно кристаллографической плоскости (001)
Рентгеновский дифрактометр Bruker D8 Discover в ИФМ РАН с установленной коллимационной и разметочной системами
Рентгеновский дифрактометр Bruker D8 Discover в ИФМ РАН с установленной коллимационной и разметочной системами

Схема высокого разрешения дифрактометра BrukerD8 Discover, Эйлерова подвеска и юстировочная коллиматорная система используются для прецизионной ориентировки монокристаллов в ИФМ РАН. Для этой задачи в ИФМ РАН на дифрактометр Bruker D8 Discover с вертикальным гониометром была адаптирована телескопическая приставка из комплекта дифрактометра ДРОН-4. В случае монокристалловHPHT (highpressurehightemperature) алмазов угол разориентации поверхности подложки относительно кристаллографической плоскости слабо контролируется производителем, однако его величина критически влияет на скорость роста гомоэпитаксиальных CVD пленок, скорость травления, встраивание легирующих примесей. Разработанная в ИФМ РАН методика прецизионной ориентировки монокристаллов адаптирована для анализа ориентаций HPHT алмазных подложек в интересах ИПФ РАН. Результаты проведенных исследований вошли в большое количество публикаций.

Оборудование

Контактное лицо

Юнин Павел Андреевич, зав. лаб., с.н.с. ИФМ РАН

yunin@ipmras.ru

+7 (831) 417−94−91

yunin_pavel

Публикации

• M.A. Lobaev, A.M. Gorbachev, A.L. Vikharev, D.B. Radishev, V.A. Isaev, S.A. Bogdanov, M.N. Drozdov, P.A. Yunin, J.E. Butler, Misorientation Angle Dependence of Boron Incorporation Into CVD Diamond Delta Layers, physica status solidi (b), 256 (2019) 1800606.
• A.B. Muchnikov, D.B. Radishev, A.L. Vikharev, A.M. Gorbachev, A.V. Mitenkin, M.N. Drozdov, Y.N. Drozdov, P.A. Yunin, Characterization of interfaces in mosaic CVD diamond crystal, J. Cryst. Growth, 442 (2016) 62-67
• Юнин П.А., Дроздов Ю.Н., Чернов В.В., Исаев В.А., Богданов С.А., Мучников А.Б. Формирование сингулярных (001) террас на поверхности монокристаллических HPHT алмазных подложек, ФТП, 2016, Т 50, вып. 12, с. 1647-1651
• Юнин П.А., Волков П.В., Дроздов Ю.Н., Колядин А.В., Королев С.А., Радищев Д.Б., Суровегина Е.А., Шашкин В.И. Исследование структурных и морфологических свойств HPHT алмазных подложек, ФТП, 2018, т. 52, вып. 11, с. 1321-1325

Возврат к списку