Услуги

Наименование услуги (работы)

Стоимость работ в час (без НДС), руб.

Постростовая обработка структур

Быстрый термический отжиг микроструктур с использованием установки AcuThermo AW 410 System

7000

Ионно-пучковое травление, полировка и коррекция формы поверхности малогабаритными и квазипараллельными ионными пучками с использованием стенда ионно-пучкового травления

4000

Лазерная резка тонких пластин полупроводников, металлов и диэлектриков на установке SharpMark YVO4 UF 10

5500

Обработка тонкопленочных структур и подложек с использованием ионно-плазменного комплекса

5300

Подготовка подложек и очистка образцов с использованием системы очистки с помощью кислородной плазмы

4200

Травление структур в установке реактивного ионного травления и осаждения с источником индуктивно связанной плазмы PlasmaLab 80

5200*