Услуги

Наименование услуги (работы)

Стоимость работ в час (без НДС), руб.

Нанесение тонких пленок

Нанесение многослойных покрытий с использованием установок магнетронного и магнетронно-ионного напыления многослойных структур

6500

Нанесение тонких пленок металлов и диэлектриков с помощью установки резистивного и электронно-лучевого испарения с холловским ионным источником Amod 206

10000

Нанесение тонкопленочных и многослойных покрытий с использованием установок магнетронного напыления (ATC 2200-VSPUTTERSYSTEM)

6400

Нанесение тонкопленочных и многослойных покрытий с использованием установок магнетронного напыления на базе ВУП-5

7500

Нанесение тонкопленочных и многослойных структур с использованием установок термического напыления на базе ВУП-5

7500

Осаждение тонких пленок в установке плазмохимического осаждения с источником индуктивно связанной плазмы PlasmaLab 80

От 10000

Осаждение тонких пленок методом атомно-слоевого осаждения на установке Picosun R-200 Advanced

15000*

Травление структур в установке плазмохимического травления и осаждения с источником индуктивно-связанной плазмы PlasmaLab 80

От 10000