Услуги

Наименование услуги (работы)

Стоимость работ в час (без НДС), руб.

Литография

Контактная фотолитография с использованием установки совмещения и экспонирования SUSS MJB4

6500

Лазерная литография с использованием лазерного генератора микроизображений mPG101

10000

Нанолитография с помощью остро фокусированных ионных пучков на установке Neon-40

20000

Электронная литография с использованием аппаратно-программного комплекса электронной литографии ELPHY PLUS

22000